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日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪
日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪
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日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪

 详情说明
概要:

使用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品阵容诞生了。另外,以X射线检测结构为中心,对各类元件进行更佳优化,从而大幅提高了检测灵敏度,在不损失检测精度的前提下实现了的高处理能力。并且,对设备进行了重新设计,使得样本室的使用,以及对检测点的检查变得更为容易。

特点:

1.显微领域的高精度检测

通过采用新开发的多毛细管,以及对探测器的优化,在实现照射半径等同于旧有型号FT9500X为30 μm(设想FWHM: 17 μm)的基础上,进一步将处理能力提高到了2倍以上。

2.产品阵容适应各类检测样本

针对检测样本的不同种类,可在下列3种型号中进行选择。

●测量引线架、连接器等各类电子元器件的微型部件、超薄薄膜的型号

●能够处理尺寸为600 mm×600 mm的大型印刷电路板的大型印刷电路板用型号

●适合对陶瓷芯片电极部分中,过去难以同时测量的Sn/Ni两层进行高能测量的型号

3.兼顾易操作性与安全性

放大了开口,同时样本室的门也可单手轻松开闭。从而提高了取出、放入检测样本的操作简便性,并且该密封结构也大大减少了X射线泄漏的风险,让用户放心使用。

4.检测部位可见

通过设置大型观察窗、修改部件布局,使得样本室门在关闭状态下亦可方便地观察检测部位。

5.清晰的样本图像

使用了分辨率比以往更高的样本观察摄像头,采用全数码变焦,从而消除位置偏差,可以清晰地观察数十μm的微小样本。
另外,亦采用LED作为样本观察灯,无需像以往的机型那样对灯泡进行更换。

6.新规

将各类检测方法、检测样本都以应用程序图标的形式进行了登记。图标皆为检测样本的照片、多层膜的图示等,因此登记、整理起来就很方便,从而使得用户可以不走弯路,直接进行检测。

使用检测向导窗口来指导操作。通过与检测画面联动,逐步引导用户执行当前所需进行的工作。

仪器规格:

 

FT150

FT150L

FT150h

测量元素

A(l  Z=13)~U(Z=92)

A(l  Z=13)~U(Z=92)

A(l  Z=13)~U(Z=92)

X射线管

Mo靶材

W靶材

管电压:45 kV 管电流:1 mA以下

检测器

Si半导体检测器(SDD)

照射径

φ:30 μm  (FWHM:17 μm)

φ:35 μm  (FWHM:20 μm)

样品观察

CCD摄像头

最大样品尺寸

400 mm × 300 mm × 100 mm

600 mm × 600 mm × 20 mm

400 mm × 300 mm × 100 mm

最大样品重量

10 Kg

应用程序

定性分析

薄膜检量线(单层、2层、2成分合金单层膜)

薄膜FP法(最多可测量5层、10个元素)等

报告功能

Microsoft Word / Excel

电源

AC100~240 V

仪器尺寸

930 mm × 900 mm × 710 mm

1030 mm × 1200 mm × 710 mm

930 mm × 900 mm × 710 mm

仪器重量

约160 kg

约170 kg

约160 kg

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